半導(dǎo)體行業(yè)偏壓濕熱試驗(yàn)箱的設(shè)計(jì)，符合實(shí)驗(yàn)條件模擬了“85/85”穩(wěn)態(tài)濕度壽命試驗(yàn)(JESD22-A101)的失效機(jī)理，即在讓元件長(zhǎng)時(shí)間承受電氣性stress高溫（85℃）、高濕（85%RH）環(huán)境條件，至少運(yùn)行1000h，評(píng)估元件的電力和機(jī)械性性能。

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：

AEC-Q101：汽車電子分立器件質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，適用于汽車電子元件的可靠性要求。

MIL-STD-750D：美國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定了軍用電子元件的可靠性試驗(yàn)方法和程序。

GJB128：中國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)，類似于MIL-STD-750D，適用于軍用電子元件的可靠性測(cè)試。

JESD22A-101：半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì)頒布的標(biāo)準(zhǔn)，用于規(guī)范半導(dǎo)體器件的測(cè)試方法和程序。

技術(shù)參數(shù)：

試驗(yàn)過(guò)程通電要求：

UHAST/AC無(wú)需加偏壓，HAST/H3TRB需要加偏壓，加偏壓分為持續(xù)加壓和循環(huán)加偏壓。

1、連續(xù)通電+偏壓：若發(fā)生偏置，Tj溫度大于環(huán)境溫度≈10℃并在器件散熱低于200 mW情況下使用直流偏置持續(xù)外加偏壓方式。

2、循環(huán)加偏壓：在被測(cè)器件上加直流電壓，頻率要合適，占空比要周期。若偏置配置造成Tj溫度大于環(huán)境溫度10℃、使用循環(huán)偏壓時(shí)，由于功耗加熱容易降低水分，妨礙水分有關(guān)失效機(jī)制。對(duì)對(duì)于大多數(shù)塑料封裝的微電路，用50%的占空比循環(huán)DUT偏置是最佳的?！? mm厚的封裝的循環(huán)應(yīng)力周期應(yīng)為≤2小時(shí)，＜2 mm厚的封裝應(yīng)為≤30分鐘。推薦1小時(shí)通和1小時(shí)斷的循環(huán)偏置。

如有半導(dǎo)體行業(yè)偏壓濕熱試驗(yàn)箱的選型疑問(wèn)，可以咨詢環(huán)儀儀器相關(guān)技術(shù)人員。